Halbleitertechnik
Ob Mikroelektronik, Leistungshalbleiter oder Batteriefertigung - unsere Produkte erfüllen die hohen Standards der Reinraumtechnik. Sie sind optimal geeignet für Prozesse mit chemischen Flüssigkeiten, hochreinen Gasen, Vakuumtechnik und pneumatischer Ansteuerung. So sichern wir höchste Prozesstabilität, Langlebigkeit und Sicherheit in sensiblen Produktionsumgebungen.
Video: BIBUS Zuverlässige Komponenten für die Batteriefertigung
Our product categories
16 Produkte
Manuelles Hochvakuumventil – Modell MVB
Langlebiges Design mit einfacher Montage und visueller Betriebsanzeige.
Elektrisches Vakuumventil – Modell EVB
Präzise Steuerung der Ventilöffnung für Automatisierung und Vakuumprozesse.
Vakuum-Druckregelsystem – Modell IAVB
Kontrolliertes langsames Ablassen und stabile Druckregelung für vielfältige Halbleiterprozesse.
Luftbetriebenes Ventil für Hochvakuum – Modell AVB
CKD-typisches Faltenbalg-Design für hohe Dauerfestigkeit und einfache Handhabung.
Manuelles Ventil für Prozessgas – Modell MGD
Reduzierte Partikelbildung und zuverlässige Abdichtung dank optimierter Dichtstruktur.
Integriertes Gasversorgungssystem – Modell IAGD5
Von Design über Fertigung bis zur Auslieferung – alles auf Ihre Prozesse abgestimmt.
Manuelles Ventil für Prozessgas – Modell OGD
Einfaches Öffnen und Schließen durch 90°-Drehung – zuverlässig und sauber für chemische Prozesse.
Ventil für Prozessgas – Modell LGD
Für manuelle und luftbetriebene Steuerung – robust und flexibel für chemische Gas- und Flüssigkeitsanlagen.
Regler für Prozessgas – Modell PGM
Optimale Druck- und Durchflussregelung für einen sicheren und stabilen Produktionsprozess.
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